第465期|3nm制程突破:新莱应材如何用气体管控破局半导体洁净“卡脖子”?

第465期|3nm制程突破:新莱应材如何用气体管控破局半导体洁净“卡脖子”?

Published on Aug 8
21:16
大咖谈芯
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<p data-flag="normal" style="color:#333333;font-weight:normal;font-size:16px;line-height:30px;font-family:Helvetica,Arial,sans-serif;hyphens:auto;text-align:justify;">当芯片制程向3纳米乃至18埃米冲刺时,微观世界的“洁净之战”正成为制程突破的隐形门槛,微米级颗粒、微量金属离子都可能成为电路失效的隐患。<br>过去聚焦关键腔室的洁净管控模式,在需要构建四五百层结构的先进工艺前渐显乏力。行业数据显示,3纳米制程良率若波动5%~10%,年损失或达1亿美元,这让洁净防线不得不延伸至每个组件。<br>本期我们邀请到参与国内外气体管控标准制定的范志旻博士,他将拆解洁净技术从通用型到先进工艺级的升级逻辑,解析材料处理、组件控制背后的“洁净密码”。透过这些藏在芯片制造深处的技术细节,或许能让我们了解制程突破的底层支撑的必要性。<br></p><span><br></span><p data-flag="normal" style="color:#333333;font-weight:normal;font-size:16px;line-height:30px;font-family:Helvetica,Arial,sans-serif;hyphens:auto;text-align:justify;">《大咖谈芯》不止聊芯片。软件咋突围、材料咋突破、装备咋创新,还有汽车、新能源怎么向前冲,电子产业链的每一环,听大咖讲透背后门道。</p><p data-flag="normal" style="color:#333333;font-weight:normal;font-size:16px;line-height:30px;font-family:Helvetica,Arial,sans-serif;hyphens:auto;text-align:justify;">谈投资,聊项目,发心声,就来芯片揭秘!</p><span><br></span><p data-flag="normal" style="color:#333333;font-weight:normal;font-size:16px;line-height:...